断面温度分布
床に置いた粒子の軌跡
クリーンルームは古くて新しい問題です。かなり昔から解析されてきて未だに清浄度に問題のある施設が多数あります。その原因は室内に設置した機器の発熱がFFUからの給気に抗して上昇流を発生するからです。熱分布を考慮した設計が新たに必要となっています。上部画像の説明 FFUからの冷気供給に対して、機器発熱や人体発熱による上昇流発生が無視できず、床付近の塵埃が上部に滞留しています。